Irradiando il campione con un fascio di elettroni in un ambiente sotto vuoto, vengono generati elettroni secondari, elettroni retrodiffusi e raggi X. Il microscopio elettronico a scansione Phenom ProX estende ulteriormente la flessibilità d'uso del microscopio per mezzo di un rilevatore di raggi X, il quale, installato dentro il microscopio e in affiancamento al rilevatore di elettroni secondari e retrodiffusi, permette non solo di osservare la struttura del campione, ma anche di determinare quali elementi sono presenti al suo interno e in quale concentrazione. L'elaborazione dei dati ottenuti viene effettuata dal software Pro Suite installato nel computer dato a corredo del microscopio elettronico mediante l'applicazione Identification Element. Il programma consente, mediante un approccio intuitivo guidato, di effettuare analisi EDS all'interno del campione. La prima fase riguarda l'acquisizione, dove viene identificata la zona di interesse dell'analisi già messa a fuoco dal microscopio elettronico. Lo strumento consente già in questa fase di poter effettuare un'analisi qualitativa di tipo spot, ovvero in un punto ben definito del campione. Una volta selezionato il punto, e partita l'analisi, il software riporta nella scheda successiva, dove sono presenti i risultati , uno spettro degli elementi presenti, e visualizza, a lato del diagramma, un riepilogo della composizione quantitativa degli elementi, espressi come percentuali in peso o percentuale atomica.

Qualora siano necessarie ulteriori opzioni di puntamento, la terza scheda del programma, denominata Mapping, permette all'utente di poter scegliere fra i seguenti tipi di selezione:

  • spot (puntuale);
  • linea (analisi EDS lungo un percorso rettilineo definito dall'utente);
  • mapping (analisi chimica entro una superficie definita).

Se si seleziona il mapping, lo strumento permette di scegliere, durante l'analisi:

  • la risoluzione della mappa, che visualizzerà al termine dell'analisi in un grafico a colori la presenza degli elementi chimici rilevati;
  • il numero di passate da effettuare sul percorso o superficie scelta;
  • il tempo che lo strumento dovrà aspettare su ogni pixel della mappa.

Viene inoltre riportata nella stessa schermata lo spettro dove vengono identificati gli elementi chimici presenti (mediante la funzione AutoID ovvero Auto Identificazione), e un riepilogo dell'analisi quantitativa ottenuta, in termini di percentuale in peso o percentuale atomica, assieme ad una percentuale che indica l'accuratezza della misura. Inoltre, durante l'analisi verrà visualizzata una tavola periodica degli elementi, che riporta il numero atomico di ciascun elemento chimico, e fornisce informazioni dettagliate circa la posizione dei picchi dei raggi X in intervallo che va da 0keV a 15keV. Se durante l'analisi si clicca su ciascun elemento, verranno riportate sul diagramma le linee che identificano i picchi caratteristici dell'elemento chimico selezionato. Durante il mapping, sarà possibile inoltre cambiare il colore dell'elemento nella mappa riepilogativa della distribuzione degli elementi, per evidenziare maggiormente eventuali variazioni di composizione nel campione. Alla fine dell'analisi sarà possibile memorizzare i risultati ottenuti in un report che conterrà le fotografie dei punti oggetto di analisi, e delle superfici analizzate, con mappe che visualizzano la distribuzione di ciascun elemento e la distribuzione complessiva degli elementi chimici presenti, oltre che ovviamente lo spettro e la composizione percentuale dell'analisi elementare.

 

Strumento utilizzato per effettuare l'analisi chimica del campione in un punto o in un'intera area.Strumento utilizzato per effettuare l'analisi chimica del campione in un punto o in un'intera area.Strumento utilizzato per effettuare l'analisi chimica del campione in un punto o in un'intera area.

Strumento utilizzato per effettuare l'analisi chimica del campione in un punto o in un'intera area.Strumento utilizzato per effettuare l'analisi chimica del campione in un punto o in un'intera area.